■ 概述
早期,半导体设备提供的数据接口千差万别,上位系统集成的困难度与复杂程度极高。SECS/GEM标准通讯协议应运而生,设备制造商只要提供符合通讯标准规范的设备,便可快速地整合在CIM(计算机集成制造)的管理系统,可极大压缩设备开发周期及项目成本。
随着300毫米晶圆的推出,需要机器人(AGV/OHT)自动将材料输送到每台设备,改进过程控制并获得准确的分析以跟踪设备性能,使其变得更加自动化以提高吞吐量 。国际半导体协会制定了SECS/GEM(300)标准以满足上述要求。
亚控半导体通讯平台KingSECSGEM提供丰富的细分产品,提供多种方案,以满足客户的SECS/GEM(300)通讯需求。
产品分类
♦SECS/GEM(300)协议通讯接口开发包
♦SECS/GEM(300)协议设备数据转发工具
♦半导体工厂设备数据采集平台
♦接口开发包——KingExGem
KingExGem为半导体设备软件提供C++或C#语言的API。它可以帮助设备供应商为半导体设备快速开发的SECS/GEM协议通讯接口,以便接入到半导体产线中。
♦接口开发包——KingExGem300
KingExGem300为半导体设备软件提供C++或C#语言的API。它可以帮助设备供应商为半导体设备快速开发的SECS/GEM300协议通讯接口,以便接入到半导体产线中。
♦接口开发包——KingExGemH
KingExGemH为主机软件提供C++或C#语言的API。它可以帮助半导体制造企业为工厂自动化系统快速开发SECS/GEM协议通讯接口,实现SECS/GEM设备数据采集并通过SECS指令实现生产流程控制,满足工厂的自动化生产需求。
♦转发工具——KingSecsGemTransmitter
KingSecsGemTransmitter为半导体设备软件提供SECS/GEM协议通讯接口的数据转发服务,使设备软件能够间接地和主机软件通讯。它担任通讯的桥梁,一端通过多种通讯接口(OPC DA, OPC UA, Web Service, API, Restful等)连接设备软件或硬件,一端通过SECS/GEM协议通讯接口连接主机软件,间接地实现设备SECS/GEM协议通讯接口的开放。它极大的缩短开发周期,是更为便捷的通讯方案,对缺乏软件开发团队的设备供应商来说是个极大的利好。
♦转发工具——KingSecsGem300Transmitter
在KingSecsGemTransmitter功能基础之上,支持SECS/GEM300标准通讯协议,包含:载具管理、基板追踪、控制作业、处理作业。
♦采集平台——KingIOServerSecsGem
KingIOServerSecsGem搭载于数据采集平台KingIOServer或KingView,它无需代码开发便可以协助通讯平台与设备按照SECS/GEM标准接口通讯,实现SECS/GEM设备数据采集并通过SECS指令实现生产流程控制,满足工厂的自动化生产需求。
■ 产品特性
♦支持多种编程语言
接口开发包支持C、C++ 和C# 三种语言,高效稳定,应用领域广泛,用户可以轻松完成二次开发和系统集成。
♦简单易用
三种产品都提供详细的使用文档,学习成本低;接口库支持GEM场景自动管理,减少开发工作量;提供GEM场景的参数配置、验证和运行模拟软件。
♦灵活扩展
三种产品都支持SECS-II 消息自定义,可帮助客户应对多种不同场景和定制需求。
♦覆盖领域广
产品丰富多样,可提供多种方案,使得设备支持SECS/GEM(300)通讯接口,或使客户通讯平台能采集SECS/GEM设备数据并完成生产流程控制。
■ 产品功能
♦事件报告(Event)
♦告警上报(Alarm)
♦配方管理(Process Program Management)
♦远程指令(Remote Control)
♦终端消息(Terminal Message)
♦数据追踪(Trace Data Collection)
♦消息缓存(Spooling)
♦载具管理(Carrier Management)
♦基板追踪(Substrate Tracking)
♦处理作业(Process Job)
♦控制作业(Control Job)
■ 部分典型案例
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■ 亚控“周二10点”——云上研讨会